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    离子注入等离子蚀刻用石墨制品

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    【加工定制】离子注入和等离子蚀刻用石墨部件    离子注入用石墨,细颗粒高密度的石墨呈现出很强的抗腐蚀性,即使是在极其恶劣的工况下(如离子束轰击或等离子体束)也是如此。由于离子束的原因,金属部件暴露在离子注入设备中会造成高的损耗,故这时应用相应的石墨件来作屏蔽罩。上海弘竣实业有限公司采用德国西格里石墨,不仅能为各种离子注入机提供石墨屏蔽罩,且提供各种规格具有高耐腐蚀性

    1. 详细信息

    【加工定制】离子注入和等离子蚀刻用石墨部件

     

       离子注入用石墨,细颗粒高密度的石墨呈现出很强的抗腐蚀性,即使是在极其恶劣的工况下(如离子束轰击或等离子体束)也是如此。由于离子束的原因,金属部件暴露在离子注入设备中会造成高的损耗,故这时应用相应的石墨件来作屏蔽罩。上海弘竣实业有限公司采用德国西格里石墨,不仅能为各种离子注入机提供石墨屏蔽罩,且提供各种规格具有高耐腐蚀性的高纯度石墨电极及离子源。即使在离子轰击或等离子等极限工作条件下,细粒、高密度石墨也不易受腐蚀。离子轰击设备的金属部件要接触离子束,磨损严重,可使用合适的石墨挡板进行保护。上海弘竣实业有限公司不仅提供石墨挡板,还提供适用于各种注入机的电极和离子源,这些石墨产品都具有耐腐蚀和纯度高的优点。

        为了满足客户的不同需求,我们上海弘竣实业有限公司还可根据客户生产出不同规格的石墨件,全部采用精加工方式,保障了 石墨件的精度要求。

    等离子注入石墨件


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