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石墨卡点 -
石墨卡点
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工艺卡点1.提高产品成品率：硅片装夹牢固，减少掉片现象，减少氮化硅的色差片，提高了成品率。2.工艺点钩点小，新的圆形工艺点在硅片上的钩点面积是1.472mm²，新的三角形工艺点钩点面积是0.619mm²。3.使用寿命长。4.采用德国西格里高纯石墨，纯度高、硬度高、耐磨、使用寿命长。
工艺卡点
1.提高产品成品率：硅片装夹牢固，减少掉片现象，减少氮化硅的色差片，提高了成品率。
2.工艺点钩点小，新的圆形工艺点在硅片上的钩点面积是1.472mm²，新的三角形工艺点钩点面积是0.619mm²。
3.使用寿命长。
4.采用德国西格里高纯石墨，纯度高、硬度高、耐磨、使用寿命长。
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